ОФНЖурнал экспериментальной и теоретической физики Journal of Experimental and Theoretical Physics

  • ISSN (Print) 0044-4510
  • ISSN (Online) 3034-641X

ОБРАТНАЯ ЗАДАЧА ТЕОРИИ ОТРАЖЕНИЯ ДЛЯ ПЯТИСЛОЙНЫХ СИММЕТРИЧНЫХ СТРУКТУР

Код статьи
S3034641XS0044451025080012-1
DOI
10.7868/S3034641X25080012
Тип публикации
Статья
Статус публикации
Опубликовано
Авторы
Том/ Выпуск
Том 168 / Номер выпуска 2
Страницы
143-149
Аннотация
Получено точное аналитическое решение обратной задачи теории отражения для прозрачных структур с четырьмя границами раздела. Приведены соотношения, определяющие оптическую длину структуры, толщину подложки, угловое положение и абсолютные номера интерференционных минимумов.
Ключевые слова
Дата публикации
01.08.2025
Год выхода
2025
Всего подписок
0
Всего просмотров
8

Библиография

  1. 1. В. К. Громов, Весёлчие в эллипсометрию, Изд-во ЛГУ (1986).
  2. 2. С. Н. Свиташева, Метод эллипсометрии для исследования ианоразмерных пленок диэлектриков, полупроводников и металлов, Изд-во СО РАН Новосибирск (2019).
  3. 3. А. И. Семененко, И. А. Семененко, Научное приборостроение 23, 47 (2013).
  4. 4. С. Н. Свиташева, ДАН СССР 318 (5), 1154 (1991).
  5. 5. Д. В. Сивухин, Общий курс физики. Оптика, Наука, Москва (1980).
  6. 6. Л. А. Федюхин, А. В. Горчаков, Е. А. Колосовский, Опт. и спектр. 128, 257 (2020).
  7. 7. Л. А. Федюхин, А. В. Горчаков, ЖЭТФ 158, 792 (2020).
  8. 8. Shyam Singh, Phys. Scr. 65, 167 (2002).
  9. 9. А. Л. Брикс, В сб. Исследования в области оптических и световых измерений, Труды метрологических институтов СССР 193, 14 (1976).
  10. 10. Л. А. Федюхин, А. В. Горчаков, Н. Г. Коробейщиков, И. В. Николаев, Письма в ЖЭТФ 114, 304 (2021).
QR
Перевести

Индексирование

Scopus

Scopus

Scopus

Crossref

Scopus

Высшая аттестационная комиссия

При Министерстве образования и науки Российской Федерации

Scopus

Научная электронная библиотека