RAS PhysicsЖурнал экспериментальной и теоретической физики Journal of Experimental and Theoretical Physics

  • ISSN (Print) 0044-4510
  • ISSN (Online) 3034-641X

ОБРАТНАЯ ЗАДАЧА ТЕОРИИ ОТРАЖЕНИЯ ДЛЯ ПЯТИСЛОЙНЫХ СИММЕТРИЧНЫХ СТРУКТУР

PII
S3034641XS0044451025080012-1
DOI
10.7868/S3034641X25080012
Publication type
Article
Status
Published
Authors
Volume/ Edition
Volume 168 / Issue number 2
Pages
143-149
Abstract
Получено точное аналитическое решение обратной задачи теории отражения для прозрачных структур с четырьмя границами раздела. Приведены соотношения, определяющие оптическую длину структуры, толщину подложки, угловое положение и абсолютные номера интерференционных минимумов.
Keywords
Date of publication
01.08.2025
Year of publication
2025
Number of purchasers
0
Views
7

References

  1. 1. В. К. Громов, Весёлчие в эллипсометрию, Изд-во ЛГУ (1986).
  2. 2. С. Н. Свиташева, Метод эллипсометрии для исследования ианоразмерных пленок диэлектриков, полупроводников и металлов, Изд-во СО РАН Новосибирск (2019).
  3. 3. А. И. Семененко, И. А. Семененко, Научное приборостроение 23, 47 (2013).
  4. 4. С. Н. Свиташева, ДАН СССР 318 (5), 1154 (1991).
  5. 5. Д. В. Сивухин, Общий курс физики. Оптика, Наука, Москва (1980).
  6. 6. Л. А. Федюхин, А. В. Горчаков, Е. А. Колосовский, Опт. и спектр. 128, 257 (2020).
  7. 7. Л. А. Федюхин, А. В. Горчаков, ЖЭТФ 158, 792 (2020).
  8. 8. Shyam Singh, Phys. Scr. 65, 167 (2002).
  9. 9. А. Л. Брикс, В сб. Исследования в области оптических и световых измерений, Труды метрологических институтов СССР 193, 14 (1976).
  10. 10. Л. А. Федюхин, А. В. Горчаков, Н. Г. Коробейщиков, И. В. Николаев, Письма в ЖЭТФ 114, 304 (2021).
QR
Translate

Индексирование

Scopus

Scopus

Scopus

Crossref

Scopus

Higher Attestation Commission

At the Ministry of Education and Science of the Russian Federation

Scopus

Scientific Electronic Library