Journal of Experimental and Theoretical PhysicsJournal of Experimental and Theoretical Physics0044-45103034-641XRussian Academy of Science10.7868/S3034641X25080012ОБРАТНАЯ ЗАДАЧА ТЕОРИИ ОТРАЖЕНИЯ ДЛЯ ПЯТИСЛОЙНЫХ СИММЕТРИЧНЫХ СТРУКТУРОБРАТНАЯ ЗАДАЧА ТЕОРИИ ОТРАЖЕНИЯ ДЛЯ ПЯТИСЛОЙНЫХ СИММЕТРИЧНЫХ СТРУКТУРFeduhinL.A.ФедюхинЛ.А. feduhin_la_noemail@ras.ruKolosovskijE.A.КолосовскийЕ.А. kolosovskij_ea_noemail@ras.ruGorcakovA.V.ГорчаковА.В. gorcakov_av_noemail@ras.ruИнститут физики полупроводников им. А. В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наукИнститут физики полупроводников им. А. В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наукИнститут физики полупроводников им. А. В. Росанова Сибирского отделения Российской академии наукИнститут физики полупроводников им. А. В. Росанова Сибирского отделения Российской академии наукНовосибирский государственный университетНовосибирский государственный университет010820251682143149

Получено точное аналитическое решение обратной задачи теории отражения для прозрачных структур с четырьмя границами раздела. Приведены соотношения, определяющие оптическую длину структуры, толщину подложки, угловое положение и абсолютные номера интерференционных минимумов.

Получено точное аналитическое решение обратной задачи теории отражения для прозрачных структур с четырьмя границами раздела. Приведены соотношения, определяющие оптическую длину структуры, толщину подложки, угловое положение и абсолютные номера интерференционных минимумов.

Работа выполнена по Госзаданию № FWGW-2025-0024.Работа выполнена по Госзаданию № FWGW-2025-0024.В. К. Громов, Весёлчие в эллипсометрию, Изд-во ЛГУ (1986).С. Н. Свиташева, Метод эллипсометрии для исследования ианоразмерных пленок диэлектриков, полупроводников и металлов, Изд-во СО РАН Новосибирск (2019).А. И. Семененко, И. А. Семененко, Научное приборостроение 23, 47 (2013).С. Н. Свиташева, ДАН СССР 318 (5), 1154 (1991).Д. В. Сивухин, Общий курс физики. Оптика, Наука, Москва (1980).Л. А. Федюхин, А. В. Горчаков, Е. А. Колосовский, Опт. и спектр. 128, 257 (2020).Л. А. Федюхин, А. В. Горчаков, ЖЭТФ 158, 792 (2020).Shyam Singh, Phys. Scr. 65, 167 (2002).А. Л. Брикс, В сб. Исследования в области оптических и световых измерений, Труды метрологических институтов СССР 193, 14 (1976).Л. А. Федюхин, А. В. Горчаков, Н. Г. Коробейщиков, И. В. Николаев, Письма в ЖЭТФ 114, 304 (2021).