- Код статьи
- 10.31857/S0044451023060056-1
- DOI
- 10.31857/S0044451023060056
- Тип публикации
- Статья
- Статус публикации
- Опубликовано
- Авторы
- Том/ Выпуск
- Том 163 / Номер выпуска 6
- Страницы
- 796-805
- Аннотация
- Методом проекционных присоединенных волн в рамках теории функционала электронной плотности изучено влияние примесей простых и переходных металлов, а также примесей внедрения (В, С, N) на адсорбцию кислорода на поверхности силицида титана Ti5 Si3. Показано, что наибольшее изменение энергии адсорбции наблюдается для примесей второй половины 3d-5d-периодов, замещающих титан. Простые металлы и примеси внедрения также ведут к понижению взаимодействия кислорода с поверхностью. Проведенный анализ локальных плотностей электронных состояний, распределения разности зарядовой плотности, зарядового переноса и заселенности связей кислорода с ближайшими атомами позволил вскрыть особенности влияния примесей на химическую связь кислорода с поверхностью силицида титана. Обсуждаются факторы, ответственные за увеличение/уменьшение энергии адсорбции кислорода на легированной поверхности. Выявлена корреляция между изменением энергией адсорбцией и электроотрицательностью примесей.
- Ключевые слова
- Дата публикации
- 15.06.2023
- Год выхода
- 2023
- Всего подписок
- 0
- Всего просмотров
- 37
Библиография
- 1. H. Nowotny, in Electronic Structure and Alloy Chemistry of the Transition Elements, ed. by P. A. Beck, Intersci. Publ., New York (1963), p. 179.
- 2. S. P. Murarka, Silicides for VLSI Applications, Academic Press, New York (1983).
- 3. L. J. Chen, Silicide Technology for Integrated Circuits, IEE, London (2009).
- 4. J. Derrien, J. Chevrier, V. Le Thanh et al., Appl. Surf. Sci. 56, 382 (1992).
- 5. D. L. Anton, D. M. Shah, D. N. Duhl et al., JOM 41, 12 (1989).
- 6. R. L. Fleischer, J. Mater. Sci. 22, 2281 (1987).
- 7. D. M. Shah, D. Berczik, D. L. Anton et al., Mater. Sci. Eng. A 155, 45 (1992).
- 8. R. L. Fleischer, D. M. Dimiduk, and H. A. Lipsitt, Annu. Rev. Mater. Sci. 19, 231 (1989).
- 9. R. Swad'zba, L. Swad'zba, B. Mendala et al., Intermetallics 87, 81 (2017).
- 10. J. Huang, F. Zhao, X. Cui et al., Appl. Surf. Sci. 582, 152444 (2022).
- 11. Z. Li and W. Gao, in Intermetallics Research Progress, ed. by Y. N. Berdovsky, Nova Sci. Publ., New York (2008), p. 1.
- 12. Z. Tang, J. J. Williams, A. J. Thom et al., Intermetallics 16, 1118 (2008).
- 13. X. Long and Z. Chong, Trans. Nonferrous Met. Soc. China 4, 25 (1994).
- 14. M. Ekman and V. Ozolins, Phys. Rev. B 57, 4419 (1998).
- 15. M. K. Niranjan, Mater. Res. Express 2, 096302 (2015).
- 16. C. Colinet, W. Wolf, R. Podloucky et al., Appl. Phys. Lett. 87, 041910 (2005).
- 17. G. Shao, Acta Mater. 53, 3729 (2005).
- 18. T. Wang, J. A. Chen, X. Ling et al., Mod. Phys. Lett. B 20, 343 (2006).
- 19. C. Colinet and J. C. Tedenac, Intermetallics 18, 1444 (2010).
- 20. H. Y. Wang, W. P. Si, S. L. Li et al., J. Mater. Res. 25, 2317 (2010).
- 21. P. F. Zhang, Y. X. Li, and P. K. Bai, IOP Conf. Series: Mater. Sci. Eng. 284, 012013 (2017).
- 22. J. J. Williams, Y. Y. Ye, M. J. Kramer et al., Intermetallics 8, 937 (2000).
- 23. J. J. Williams, M. J. Kramer, M. Akinc et al., J. Mater. Res. 15, 1773 (2000).
- 24. A. J. Thom, V. G. Young, and M. Akinc, J. Alloys Compd. 296, 59 (2000).
- 25. Z. Tang, A. J. Thom, and M. Akinc, Intermetallics 14, 537 (2006).
- 26. Л. С. Чумакова, А. В. Бакулин, С. Е. Кулькова, ЖЭТФ 161, 874 (2022).
- 27. L. S. Chumakova, A. V. Bakulin, S. Hocker et al., Metals 12, 492 (2022).
- 28. A. V. Bakulin, L. S. Chumakova, and S. E. Kulkova, Intermetallics 146, 107587 (2022).
- 29. P. E. Bl¨ochl, Phys. Rev. B 50, 17953 (1994).
- 30. G. Kresse and D. Joubert, Phys. Rev. B 59, 1758 (1999).
- 31. J. P. Perdew, K. Burke, and M. Ernzerhof, Phys. Rev. Lett. 77, 3865 (1996).
- 32. P. Villars and L. D. Calvert, Pearson's Handbook of Crystallographic Data for Intermetallic Phases, ASM, Metals Park, OH (1985).
- 33. A. V. Bakulin, S. Hocker, S. Schmauder et al., Appl. Surf. Sci. 487, 898 (2019).
- 34. W. M. Haynes, CRC Handbook of Chemistry and Physics, 96th Edition, CRC Press/Taylor and Francis, Boca Raton, FL (2015), p. 9.
- 35. B. Cordero, V. G'omez, A. E. Platero-Prats et al., Dalton Trans. 21, 2832 (2008).
